Tantárgy » BMETE12AF08
Mikro- és nanotechnológiák
Microtechnology and Nanotechnology
A tantárgyleírás hatályossága
Hatályosság kezdete:
—
Hatályosság vége:
—
| Tantárgy neve (magyarul, angolul) |
Mikro- és nanotechnológiák
Microtechnology and Nanotechnology
|
||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Tantárgykód | BMETE12AF08 | ||||||||||||
| Tantárgyjelleg | — | ||||||||||||
| Képzési szint | — | ||||||||||||
| Kurzustípusok és óraszámok (heti/féléves) |
|
||||||||||||
| Tanulmányi teljesítmény/értékelés típusa | félévközi érdemjegy | ||||||||||||
| Tantárgy kreditértéke | 2 | ||||||||||||
| Tantárgyfelelős |
DR. Kiss Gábor
beosztás: egyetemi docens
elérhetőség:
kiss.gabor@ttk.bme.hu
|
||||||||||||
| Tantárgyat gondozó oktatási szervezeti egység |
Atomfizika Tanszék
|
||||||||||||
| Kar | Természettudományi Kar | ||||||||||||
| Tantárgy weboldala | — | ||||||||||||
| Tantárgy elsődleges mintatantervi jellege | — | ||||||||||||
| Közvetlen előkövetelmények – Erős előkövetelmény | nincs | ||||||||||||
| Közvetlen előkövetelmények – Gyenge előkövetelmény | nincs | ||||||||||||
| Közvetlen előkövetelmények – Párhuzamos előkövetelmény | nincs | ||||||||||||
| Közvetlen előkövetelmények – Mérföldkő előkövetelmény | nincs | ||||||||||||
| Közvetlen előkövetelmények – Kizáró feltétel | nincs |
Célkitűzés
Tantárgyprogram
- Mikrotechnológia, nanotechnológia és molekuláris nanotechnológia definíciója, összehasonlítása, egymáshoz való viszonya. A technológia feltételei.
- Mikro- és nanofizika. Vékonyrétegek leválasztására alkalmas módszerek: fizikai rétegleválasztási módszerek (vákuumpárologtatás, lézerablációs párologtatás, molekulasugaras epitaxiás rétegnövesztés, porlasztás), kémiai rétegleválasztási módszerek (kémiai gőzfázisú leválasztás).
- Adalékolás (diffúzió, ionimplantáció).
- Litográfia (foto, röntgensugaras, elektronsugaras, ionsugaras).
- Rétegeltávolítási technológiák: nedves "kémiai" marás, száraz marás (plazma, ionsugaras).
- Rétegminősítési eljárások: röntgendiffrakció, transzmissziós elektronmikroszkópia, pásztázó elektronmikroszkópia, szekunder ion tömegspektrometria, röntgen fotoelektron-spektroszkópia, Auger elektronspektroszkópia, pásztázó alagútmikroszkópia, atomerő mikroszkópia.
- Hagyományos elektronikai eszközök: bipoláris tranzisztor, térvezérlésű tranzisztor.
- Vastagréteg technológia: szitanyomtatás, beégetés, vastagréteg paszták.
- Nanométeres eszközök: egy elektronnal működő eszközök, rezonáns alagúteffektuson alapuló eszközök, mikro-elektromechanikai rendszerek, szenzorok, képérzékelők, kijelzők.
- Molekuláris nanotechnológia.
Mikro- és nanotechnológiai alapismeretek elsajátítása.
Tanulmányi eredmények
Ez a tantárgy a KKK rendeletben meghatározott, következő kompetenciák fejlesztését szolgálja:
Tudás
Nincsenek rögzített tanulási eredmények.
Képességek
Nincsenek rögzített tanulási eredmények.
Attitűd
Nincsenek rögzített tanulási eredmények.
Autonómia és felelősség
Nincsenek rögzített tanulási eredmények.
Oktatási módszertan
előadás
Tanulástámogató anyagok
Online források
Mojzes I.: Mikroelektronika és elektronikai technológia. Műszaki Könyvkiadó, 1995.; C.Y.Chang and S.M.Sze (Ed.): VLSI Technology, McGrew Hill, 1996.; R. Waser (Ed.): Nanoelectronics and information technology, Wiley-VCH, 2003.
A tantárgy teljesítéséhez ajánlott előzetes ismeretek
Tudás típusú kompetenciák
(azon előzetes ismeretek összessége, amelyek megléte nem kötelező, de a tantárgy eredményes teljesítését nagyban elősegíti)
(Kísérleti) fizika.
Képesség típusú kompetenciák
(azon előzetes képességek és készségek összessége, amelyek megléte nem kötelező, de a tantárgy eredményes teljesítését nagyban elősegíti)
nincs
Ajánlott (nem kötelező) előzetesen megszerzendő kompetenciák
(azon ajánlott (nem kötelező) előzetesen megszerzendő kompetenciák összessége, amelyek jelentősen hozzájárulnak a tantárgy eredményes teljesítéséhez)
(Kísérleti) fizika.
Általános szabályok
Követelmények:
A szorgalmi időszakban: 2 zárthelyi, melyek alapján a hallgató félévközi jegyet kap. Előadások látogatása.
A vizsgaidőszakban: –
Elővizsga: –
Pótlási lehetőségek:
1 pótzárthelyi.
Teljesítményértékelési módszerek
Szorgalmi időszakban végzett teljesítményértékelések részletes leírása
1. —
szintfelmérő (diagnosztikus) értékelés
1 ZH
Szorgalmi időszakban végzett teljesítményértékelések részaránya
Nincs megadva részarány.
Vizsgaidőszakban végzett teljesítményértékelések részletes leírása
Nincs megadva részletes értékelés.
Vizsgarészek részaránya
Nincs megadva részarány.
Érdemjegy megállapítása
Nincs megadva érdemjegy határ.
Jelenléti és részvételi követelmények
Nincs megadva jelenléti követelmény.
Javítás, ismétlés és pótlás különös szabályai
Nincs megadva.
Rövid leírás
Nincs megadva.
Részletes leírás
Nincs megadva.
Ajánlott tantárgyak
Nincs megadva.
A tantárgy elvégzéséhez szükséges tanulmányi munka
| Leírás | óra / félév |
|---|---|
| részvétel a kontakt tanórákon | 28 |
| további, a teljesítéshez szükséges munkaidő ráfordítás | 24 |
| összesen | 52 |
Tantárgykövetelmények hatályossága
Tantárgykövetelmények hatályosságának kezdete:
—
Tantárgykövetelmények hatályosságának vége:
—
Tantervi elhelyezés
Nincsenek rögzített tantervi elhelyezések ehhez a tárgyverzióhoz.