Subject » BMEVIEE9168
Novelties in Microtechniques
Mikrotechnikai újdonságok
A tantárgyleírás hatályossága
Hatályosság kezdete:
—
Hatályosság vége:
—
| Subject name (Hungarian, English) |
Mikrotechnikai újdonságok
Novelties in Microtechniques
|
||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Subject code | BMEVIEE9168 | ||||||||||||
| Subject type | — | ||||||||||||
| Training Level | — | ||||||||||||
| Course types and hours (weekly/semester) |
|
||||||||||||
| Assessment type | vizsga | ||||||||||||
| Credits | 5 | ||||||||||||
| Subject coordinator | — | ||||||||||||
| Responsible department |
—
|
||||||||||||
| Faculty | |||||||||||||
| Subject website | — | ||||||||||||
| Primary curriculum type | — | ||||||||||||
| Direct prerequisites – Strong prerequisite | none | ||||||||||||
| Direct prerequisites – Weak prerequisite | none | ||||||||||||
| Direct prerequisites – Parallel prerequisite | none | ||||||||||||
| Direct prerequisites – Milestone prerequisite | none | ||||||||||||
| Direct prerequisites – Exclusion | none |
Objectives
Programme
Előadások anyaga
- A mikro/nanorendszerek mint a félvezető ipar növekedési ágazata. A szakterület jellege, meghatározása, rendszerezése, felosztása, kapcsolódásai.
- A mikro- és nanotechnika anyagai, félvezetők, kerámiák, műanyagok, kvarc, gyémánt, szén nanocsövek, stb. és ezek kompatibilitási, megmunkálási kérdései. A mikrorendszerek speciális tokozási követelményei.
- Mikromechanika a hiradástechnikában, optikai távközlésben, (optikai) kapcsolók, szűrők, mikrotükrös megjelenítő eszközök, vetítők, hangolható lézerek.
- A MEMS tömegpiac eszközeinek (nyomásérzékelők, gyorsulásérzékelők, tintasugaras nyomtatófejek, pásztázó-szonda tűk) speciális alkalmazásai: erőmérés, helyzetmeghatározás, mikroadagolás, SEM-AFM nanomegmunkálás.
- Integrált mikro-folyadékkezelés (microfluidics), mikroreaktorok, mikro-totális analitikai rendszerek (źTAS), biochipek.
- Mikrorendszerek az orvosbiológiában, biokompatibilitás, implantált érzékelők, DNS szegmentálás, MEMS a szűrővizsgálatokban.
- Mikrofúvókák, mikrohajtóművek, motorok, áttételek, megmunkálási technikák. Nanotechnológiai lehetőségek, bio-kapcsolódások.
- Pórusos szilícium mint mikro- és nanotechnológiai alapanyag, alkalmazásai. Termikusan szigetelt integrált szerkezetek a hőmérséklet, áramlás- nedvesség- és gázérzékelésben. Passzív optikai elemek, szűrők előállítása.
A gyakorlati munka tartalma
Az utolsó 16-20 óra 4-5 alkalomra koncentrált laborgyakorlat formájában az MTA MFA Mikrotechnológiai laboratóriumában zajlik.
A feladat a tárgyalt tananyag és az előzetes ismeretek felhasználásával, rövid bevezetés után a COSMOS és SILVACO termomechanikus- ill. technológiai szimulációs rendszerek alkalmazásával, megfelelő támogatással egy rezgőnyelves érzékelő megtervezése és saját kezű előállítása pórusos szilícium tömbi mikrogépészeti eljárással, tiszta laboratóriumi környezetben. Ezt követően az eszközök funkcionális minősítése, a saját frekvencia meghatározása és egybevetése a tervezés szempontjaival.
A tárgy keretében a hallgatók a legújabb eljárásokkal és azok eredményeivel ismerkednek meg a mikro- és nanorendszerek (MEMS, MOEMS, NEMS) területén. A tárgy deklarált célja a szakterület hazai kutatási szintű aktualitásainak a megismertetése az MTA MFA mikro- és nanotechnológiai projektjei alapján, az előtanulmányokra építve.
Az előadássorozat második felében mód nyílik egy mikromechanikai eszköz saját kezű megtervezésére, előállítására és minősítésére az MTA MFA mikrotechnológiai laboratóriumában.
Learning outcomes
Ez a tantárgy a KKK rendeletben meghatározott, következő kompetenciák fejlesztését szolgálja:
Knowledge
No learning outcomes recorded.
Skills
No learning outcomes recorded.
Attitudes
No learning outcomes recorded.
Autonomy and responsibility
No learning outcomes recorded.
Oktatási módszertan
Előadás és laborgyakorlat az MTA MFA mikrotechnológiai laboratóriumában.
Tanulástámogató anyagok
Not provided.
Recommended preliminary knowledge for completing the subject
Knowledge type competencies
(azon előzetes ismeretek összessége, amelyek megléte nem kötelező, de a tantárgy eredményes teljesítését nagyban elősegíti)
Alapvető fizikai (mechanika, optika, villamosságtan), anyagtudományi (kristálytan) és kémiai ismeretek.
Skill type competencies
(azon előzetes képességek és készségek összessége, amelyek megléte nem kötelező, de a tantárgy eredményes teljesítését nagyban elősegíti)
nincs
Recommended (non-compulsory) preliminary competencies
(azon ajánlott (nem kötelező) előzetesen megszerzendő kompetenciák összessége, amelyek jelentősen hozzájárulnak a tantárgy eredményes teljesítéséhez)
Alapvető fizikai (mechanika, optika, villamosságtan), anyagtudományi (kristálytan) és kémiai ismeretek.
General rules
Követelmények:
A szorgalmi időszakban: A félév folyamán a hallgatók egy kis zárthelyit írnak, és a gyakorlati munkáról komplett mérési jegyzőkönyvben számolnak be. Az aláírás feltétele mind a zárthelyi, mind a gyakorlat minimum elégséges szintű teljesítése. A megszerzett aláírás tárgyismétlés esetén a következő induló szemeszterben beszámítható.A vizsgaidőszakban: a vizsga szóbeliElővizsga: a tárgyból tartunk elővizsgát
Pótlási lehetőségek:
Amennyiben a kis zárthelyi eredménytelen, a szemeszter végén egyszeri, javító zárthelyi írására lesz lehetőség. Ennek tematikája felöleli az egész félév anyagát. A vizsgaidőszakban pótzh a TVSz szerint pótolható, a gyakorlati munka pótlására azonban nincsen mód.
Assessment methods
In-term assessments
No detailed assessments provided.
Weight of in-term assessments
No weights provided.
Exam-period assessments
No detailed assessments provided.
Weight of exam elements
No weights provided.
Grade calculation
No grade thresholds provided.
Attendance requirements
No attendance requirements provided.
Rules for retake and resubmission
Not provided.
Short description
Not provided.
Detailed description
Not provided.
Recommended courses
Tematikaütközés miatt a tárgyat csak azok vehetik fel, akik korábban nem hallgatták a következő tárgyakat:
-
Workload to complete the subject
No workload breakdown provided.
Validity of subject requirements
Requirements valid from:
—
Requirements valid until:
—
Curriculum placement
No curriculum placements recorded for this subject version.