K-INFO
HU
EN
Belépés

Monolit technika

Microeletronics Technology
A tantárgyleírás hatályossága
Hatályosság kezdete:
2026. March 21.
Hatályosság vége:
—
Tantárgy neve (magyarul, angolul)
Monolit technika
Microeletronics Technology
Tantárgykód BMEVIEEA329
Tantárgyjelleg —
Képzési szint —
Kurzustípusok és óraszámok (heti/féléves)
Kurzustípus elmélet gyakorlat laboratóriumi gyakorlat
óraszám (heti) 3 1 0
jelleg (kapcsolt/önálló) — kapcsolt —
Tanulmányi teljesítmény/értékelés típusa vizsga
Tantárgy kreditértéke 4
Tantárgyfelelős
Kerecsen Istvánné
beosztás: egyetemi docens
elérhetőség: rencz@eet.bme.hu
Tantárgyat gondozó oktatási szervezeti egység
Elektronikus Eszközök Tanszéke
Kar Villamosmérnöki és Informatikai Kar
Tantárgy weboldala —
Tantárgy elsődleges mintatantervi jellege —
Közvetlen előkövetelmények – Erős előkövetelmény nincs
Közvetlen előkövetelmények – Gyenge előkövetelmény nincs
Közvetlen előkövetelmények – Párhuzamos előkövetelmény nincs
Közvetlen előkövetelmények – Mérföldkő előkövetelmény nincs
Közvetlen előkövetelmények – Kizáró feltétel nincs

Célkitűzés

Tantárgyprogram

Az előadott anyag

Monolit technológia alaplépései (alapanyag előállítása és minősítése, tisztítási, oxidnövesztési, diffúziós, ionimplantációs, rétegleválasztási, fotolitográfiai, fémezési és szerelési műveletek).

A méretcsökkentés hatásai és technológiai vonatkozásai

Monolit technológiával realizálható eszközök és áramkörtípusok (diszkrét bipoláris és MOS eszközök, teljesítmény eszközök, IGBT), integrált bipoláris, MOS és BiCMOS áramkörök, analóg és digitális integrált áramkörök, processzorok (katalógus IC, fogyasztói tervezésű és FPGA áramkörök), memóriák (ROM, PROM, EPROM, SRAM, DRAM).

Bevezetés a MEMS eszközök világába; érzékelők és beavatkozók működése és megvalósítása.

Az intelligens környezet hardver elemeinek megvalósítási lehetőségei. Érzékelők és jeleik feldolgozása. Öntápláló szenzorok: az energia kinyerés lehetőségei a környezetből.

Tantermi gyakorlatok:

Nagyságrendek, koncentrációk, méretviszonyok a monolit IC technikában. Adalékolások, fajlagos ellenállások, potenciálok különféle monolit szerkezetekben, C-V görbe kiértékelési gyakorlat (adalékolás, felületi és határfelületi jellemzők számítása pn átmenet, illetve MOS rendszer C-V görbéiből).

IC és MEMS layout és szerkezet elemzés, VLSI áramkörök jellegzetes alkatrész elrendezési elvei.

 

Áttekintés adása a monolit félvezető technológiákról, részint az alkalmazás, részint a megvalósítás szemszögéből. A monolit áramkörök szerkezetének ismerete segít a megfelelő eszközök kiválasztásában, gyártási lépéseinek ismerete pedig segit a fejlesztési igények megfogalmazásában.

Tanulmányi eredmények

Ez a tantárgy a KKK rendeletben meghatározott, következő kompetenciák fejlesztését szolgálja:

Tudás

Nincsenek rögzített tanulási eredmények.

Képességek

Nincsenek rögzített tanulási eredmények.

Attitűd

Nincsenek rögzített tanulási eredmények.

Autonómia és felelősség

Nincsenek rögzített tanulási eredmények.

Oktatási módszertan

Előadás, tantermi gyakorlatok, laboratóriumi demonstrációk.

Tanulástámogató anyagok

Online források
-

A tantárgy teljesítéséhez ajánlott előzetes ismeretek

Tudás típusú kompetenciák
(azon előzetes ismeretek összessége, amelyek megléte nem kötelező, de a tantárgy eredményes teljesítését nagyban elősegíti)
Mikroelektronika  
Képesség típusú kompetenciák
(azon előzetes képességek és készségek összessége, amelyek megléte nem kötelező, de a tantárgy eredményes teljesítését nagyban elősegíti)
nincs
Ajánlott (nem kötelező) előzetesen megszerzendő kompetenciák
(azon ajánlott (nem kötelező) előzetesen megszerzendő kompetenciák összessége, amelyek jelentősen hozzájárulnak a tantárgy eredményes teljesítéséhez)
Mikroelektronika  
Általános szabályok
Követelmények: a. A szorgalmi időszakban: az előadások 70%-án való részvétel a félév végi aláírás feltétele, ezt katalógus tartásával ellenőrizzük. A gyakorlati foglalkozások összóraszámának 30%-át meghaladó hiányzás esetén a tantárgy kreditpontja nem szerezhető meg. Az aláírás feltétele továbbá egy zárthelyi dolgozat elégségesre való megírása. A zárthelyi osztályzata a vizsgajegy kerekítését befolyásolja. b. A vizsgaidőszakban: c. Elővizsga: a tárgyból tartunk elővizsgát Pótlási lehetőségek: A TVsz szerint.
Teljesítményértékelési módszerek
Szorgalmi időszakban végzett teljesítményértékelések részletes leírása

Nincs megadva részletes értékelés.

Szorgalmi időszakban végzett teljesítményértékelések részaránya

Nincs megadva részarány.

Vizsgaidőszakban végzett teljesítményértékelések részletes leírása

Nincs megadva részletes értékelés.

Vizsgarészek részaránya

Nincs megadva részarány.

Érdemjegy megállapítása

Nincs megadva érdemjegy határ.

Jelenléti és részvételi követelmények

Nincs megadva jelenléti követelmény.

Javítás, ismétlés és pótlás különös szabályai

Nincs megadva.

Rövid leírás

Nincs megadva.

Részletes leírás

Nincs megadva.

Ajánlott tantárgyak
Mikroelektronika  
A tantárgy elvégzéséhez szükséges tanulmányi munka

Nincs megadva munkaidő bontás.

Tantárgykövetelmények hatályossága
Tantárgykövetelmények hatályosságának kezdete:
—
Tantárgykövetelmények hatályosságának vége:
—
Tantervi elhelyezés

Nincsenek rögzített tantervi elhelyezések ehhez a tárgyverzióhoz.