K-INFO
HU
EN
Login
Subject » BMEVIEEAV21
Older versions Download TAD (PDF)

Design and Processing of Micro-Electro Mechanical Systems

Mikro-elektromechanikai rendszerek tervezése és gyártása
A tantárgyleírás hatályossága
Hatályosság kezdete:
—
Hatályosság vége:
—
Subject name (Hungarian, English)
Mikro-elektromechanikai rendszerek tervezése és gyártása
Design and Processing of Micro-Electro Mechanical Systems
Subject code BMEVIEEAV21
Subject type —
Training Level —
Course types and hours (weekly/semester)
Course type lecture tutorial laboratory
hours (weekly) 4 0 0
type (linked/independent) — — —
Assessment type vizsga
Credits 5
Subject coordinator
Dr. Mizsei János
position: egyetemi docens
Responsible department
—
Faculty
Subject website http://www.eet.bme.hu/~mizsei/vieeav21/
Primary curriculum type —
Direct prerequisites – Strong prerequisite none
Direct prerequisites – Weak prerequisite none
Direct prerequisites – Parallel prerequisite none
Direct prerequisites – Milestone prerequisite none
Direct prerequisites – Exclusion none

Objectives

Programme

Bevezetés a MEMS eszközök világába, a MEMS-ek története, fejlődési trendek, a méretcsökkentés hatásai, anyagi paraméterek mikroméretben. Az érzékelők és beavatkozók egyes típusainak működése: mechanikai, optikai, termikus, elektrosztatikus átalakítók. Példák átalakítók számítására. A mikro-elektromechanikai eszközök és a megbízhatóság kapcsolata. Tokozás, tesztelési módszerek és eszközök, hibaanalízis, a tokok biokompatibilitási kérdései. A tokozás visszahatása az eszköz megbízhatóságára; szeletszintű tokozás (WLP – Wafer-level-package). MEMS-ek számítógépes modellezése és szimulációja (pl. ANSYS). Mikromechanikai struktúrák tervezése számítógéppel (MEMS Pro tervezési példák). Gyakorlati mérések.

A mikro-elektromechanikai rendszerek (MEMS) kutatása, tervezése és gyártása napjaink egyik legdinamikusabban fejlődő és rendkívül szerteágazó szakterülete. Művelőitől nemcsak jó elektronikai, hanem fizikai, kémiai, biológiai és gyártástechnológiai ismereteket is igényel. A tárgy célja, hogy naprakész, használható, gyakorlati tudást adjon mikro-elektromechanikai rendszerek tervezéséhez és gyártásához.

Learning outcomes

Ez a tantárgy a KKK rendeletben meghatározott, következő kompetenciák fejlesztését szolgálja:

Knowledge

No learning outcomes recorded.

Skills

No learning outcomes recorded.

Attitudes

No learning outcomes recorded.

Autonomy and responsibility

No learning outcomes recorded.

Oktatási módszertan

(előadás, gyakorlat, laboratórium): A félév során a hallgatók először a működés fizikai alapjaival ismerkednek meg. Bemutatásra kerülnek a gyorsulásmérők, �comb-drive�-ok, nyomásmérők, termomechanikus és optikai kapcsolók, mikropumpák, mikromotorok, mikrorobotok, stb. A tananyag megértését valódi számpéldák és elektronikus jegyzet is segíti. Ezt követően a szimulációs és tervezési alapismeretek elsajátítása után – számítógépes gyakorlat keretében – a hallgatók MEMS tervező szoftverrel megterveznek néhány egyszerű struktúrát. Végül valódi MEMS eszközöket vizsgálhatnak működés közben.

Tanulástámogató anyagok

Not provided.

Recommended preliminary knowledge for completing the subject

Knowledge type competencies
(azon előzetes ismeretek összessége, amelyek megléte nem kötelező, de a tantárgy eredményes teljesítését nagyban elősegíti)
Fizika, Elektronika
Skill type competencies
(azon előzetes képességek és készségek összessége, amelyek megléte nem kötelező, de a tantárgy eredményes teljesítését nagyban elősegíti)
nincs
Recommended (non-compulsory) preliminary competencies
(azon ajánlott (nem kötelező) előzetesen megszerzendő kompetenciák összessége, amelyek jelentősen hozzájárulnak a tantárgy eredményes teljesítéséhez)
Fizika, Elektronika
General rules
Követelmények: a. A szorgalmi időszakban: a félév során egy tervezési feladatot kapnak a hallgatók, melynek elfogadható (min. elégséges) megoldása az aláírás feltétele. Színvonalas (legalább jó szintű) megoldás esetén lehetőség van megajánlott jegyet szerezni, illetve elővizsgára jelentkezni. b. A vizsgaidőszakban: a tárgy a félév végén írásbeli vizsgával zárul, melynek feltétele az aláírás megléte. A vizsga anyaga az előadásokon elhangzott anyag. Elővizsga: az elővizsgára bocsátás feltétele a félévközi tervezési feladat minimum jó szintű megoldása. Pótlási lehetőségek: Az aláírás pótlólagos megszerzése a TVSz szerint lehetséges.
Assessment methods
In-term assessments

No detailed assessments provided.

Weight of in-term assessments

No weights provided.

Exam-period assessments

No detailed assessments provided.

Weight of exam elements

No weights provided.

Grade calculation

No grade thresholds provided.

Attendance requirements

No attendance requirements provided.

Rules for retake and resubmission

Not provided.

Short description

Not provided.

Detailed description

Not provided.

Recommended courses

Not provided.

Workload to complete the subject

No workload breakdown provided.

Validity of subject requirements
Requirements valid from:
—
Requirements valid until:
—
Curriculum placement

No curriculum placements recorded for this subject version.