Monolit integrált áramkörök készítése

1. blokk

Elvégzendő feladat ismertetése, balesetvédelmi oktatás

Félvezető fizikai ismétlés, a készítendő áramkör működése, felépítése

Kritikus tényezők és gyártási lépések, a tisztaság szerepe

2. blokk

A Si anyag megismerése: mechanikai és elektromos tulajdonságok

Típusmérés és fajlagos ellenállás mérése az alapanyagon

A tisztaszoba bemutatása, berendezések jellemzése

3. blokk

Felületelőkészítés, termikus oxidáció: elmélet és gyakorlat

Csőkemencék felépítésének, részegységeinek megismerése

Száraz és nedves oxidáció összehasonlítása, növekedési sebesség számítása

4. blokk

Fotolitográfia: lakktípusok, megvilágító rendszerek, előhívás, tisztítás jelentősége

Vastagoxid megmunkálása fotolitográfiával

Oxidvastagság mérése

5. blokk

Félvezető adalékolási eljárások

Diffúzió elméleti háttere: Fick-egyenletek, kétlépéses diffúzió, forrásanyagok

Saját diffúziós folyamat jellemzése, kézi számítás, szimuláció

6. blokk

Diffúzió elkészítő lépései

Elődiffúzió és behajtás

7. blokk

Diffúzió minősítése

Típus megváltozásának ellenőrzése, fajlagos ellenállás mérése, átmenet mélységének meghatározása

8. blokk

A gate oxid minőségének kérdései, hibák, várható következmények, hőkezelés szerepe

Nyitófeszültség csökkentésének lehetőségei

9. blokk

Gate oxid növesztése, hőkezelése

A réteg megmunkálása fotolitográfiával

10. blokk

Gate oxid minősítése: C-V mérés ismertetése, a kvázi-statikus és a nagyfrekvenciás

C-V görbe, C-T karakterisztika

C-V görbe eltolódásának és elhajlásának fizikai és technológiai okai, azok kiküszöbölése

11. blokk

Fémréteg felviteli eljárások

Fémezéssel szemben támasztott követelmények

Vákuum előállítása, mérése, szivattyúfajták, alkalmazási határok

Fémréteg leválasztása vákuumgőzöléssel, fotolitográfia, fémréteg hőkezelése

12. blokk

C-V görbe felvétele kísérőszeleten, szimulációs és a mért eredmények összehasonlítása

Töltéshordozó élettartam és alapanyag adalékolásának vizsgálata C-T méréssel

Szeleten mérés tűs mérővel, tranzisztor karakterisztikák felvétele, jellegzetes értékek mérése és kiszámítása

13. blokk

Szeletdarabolási módszerek

Kötési módok ismertetése, eutektikus ötvözés folyamata

Termokompresszió, ultrahangos kötés, további eljárások

14. blokk

Kész IC-k gyémánttűs darabolása, beültetése és ultrahangos kikötése

IC-k bemérése

Videó vetítése: gyári folyamatok összehasonlítása saját laboratóriumunkkal, kitekintés