Szilárdtest eszközök gyártástechnológiája

A Si alapú technológia alaplépései (alapanyag előállítása és minősítése, tisztítási, oxidnövesztési, diffúziós, rétegleválasztási, fotolitográfia, fémezési és szerelési műveletek).

A méretcsökkentés hatásai és technológiai vonatkozásai.

Monolit technológiával realizálható eszközök és áramkörtípusok (diszkrét bipoláris és MOS eszközök, teljesítmény eszközök, IGBT), integrált bipoláris, MOS és BiCMOS áramkörök, analóg és digitális integrált áramkörök, processzorok (katalógus IC, fogyasztói tervezésű és FPGA áramkörök), memóriák (ROM, PROM, EPROM, SRAM, DRAM).

Bevezetés a MEMS eszközök világába; érzékelők és beavatkozók működése és megvalósítása. Különböző Si alapú érzékelők bemutatása példákon.

Az intelligens környezet hardver elemeinek megvalósítási lehetőségei. Érzékelők és jeleik feldolgozása. Öntápláló szenzorok: az energia kinyerés lehetőségei a környezetből.

Vegyületfélvezetők gyártástechnológiája, lézerek, LED-ek gyártása, minősítése.

Napelemek és nagyüzemi gyártásuk.

Egy egyszerű MOS technológia és egy napelemgyártási technológia konkrét áttekintése.

Nagyságrendek, koncentrációk, méretviszonyok az IC technikában. Adalékolások, fajlagos ellenállások, potenciálok különféle szilárdtest eszközökben, C-V görbe kiértékelési gyakorlat (adalékolás, felületi és határfelületi jellemzők számítása pn átmenet, illetve MOS rendszer C-V görbéiből).

IC és MEMS layout és szerkezet elemzés, VLSI áramkörök jellegzetes alkatrész elrendezési elvei. LED-ek vizsgálata. Napelemek karakterisztikája.