Micro- and Nanotechnology
A tantárgyleírás hatályossága
| Subject name (Hungarian, English) |
Mikro- és nanotechnika
Micro- and Nanotechnology
|
||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Subject code | BMEVIEEM402 | ||||||||||||
| Subject type | — | ||||||||||||
| Training Level | — | ||||||||||||
| Course types and hours (weekly/semester) |
|
||||||||||||
| Assessment type | vizsga | ||||||||||||
| Credits | 5 | ||||||||||||
| Subject coordinator | — | ||||||||||||
| Responsible department |
—
|
||||||||||||
| Faculty | |||||||||||||
| Subject website | — | ||||||||||||
| Primary curriculum type | — | ||||||||||||
| Direct prerequisites – Strong prerequisite | none | ||||||||||||
| Direct prerequisites – Weak prerequisite | none | ||||||||||||
| Direct prerequisites – Parallel prerequisite | none | ||||||||||||
| Direct prerequisites – Milestone prerequisite | none | ||||||||||||
| Direct prerequisites – Exclusion | none |
Objectives
Bevezetés a MEMS és NEMS rendszerek tudományába.
Mikro és nanorendszerek (MEMS és NEMS rendszerek) kialakulásának történeti áttekintése. A MEMS és NEMS technológiák legfontosabb technológiai lépései. Szelettechnológiai lépések: oxidáció, adalékolás, rétegfelvételi eljárások, kötési eljárások. A mintázat kialakítása: litográfia, tervezési szabályok, különböző marási technológiák. Planarizációs technológiák. A MEMS és NEMS eszközök gyártásának integrálása a MOS ill. CMOS gyártástechnológiákba. A felületi és tömbi kialakítású mikrorendszerek. Az arányos méretcsökkenés hatása a mikrorendszerekre
Mikrorendszerek tervezési és modellezési kérdései.
MEMS eszközök modellezése elektromos hálózatokkal. Az általánosított kapacitás. Az általánosított inercia. Állapotegyenletek.
A legfontosabb MEMS energia átalakítók tulajdonságai.. Lineáris rendszerek időfüggő viselkedése. Lineáris áramköri helyettesítőképek. Az energia átalakítók linearizált modelljei.
A MEMS szimuláció eszközei.
MEMS rendszerek a különböző energia tartományokban.
Mozgó alkatrészes mikrorendszerek. A rugalmas deformáció. Mikrorendszerek szerkezeti elemei: konzolok, hidak, membránok. Hajlító és torziós igénybevétel.
Termikus elvű mikrorendszerek. A termikus energia tartomány leírására szolgáló egyenletek. A disszipációs veszteségek fajtái. Disszipációs folyamatok leírása.
Folyadékok áramlása. Folyadékok áramlásának modellezése.
Esettanulmányok a különböző energia tartományokból: nyomásérzékelők, gyorsulásmérők, billenőtükrös kivetítők, piezoelektromos giroszkópok. Biológiai orvostechnológiai felhasználások: DNS analízis, mikrolaboratórium, gyógyszeradagoló.
Érzékelő hálózatok és az intelligens környezet.
A nanotechnika legfontosabb eredményei,
Felhasználási perspektívák, karbon nanocsövek és nanohuzalok.
Elektronikai rendszerek kapcsolódása biológiai rendszerekhez.
Learning outcomes
Ez a tantárgy a KKK rendeletben meghatározott, következő kompetenciák fejlesztését szolgálja:
Knowledge
No learning outcomes recorded.
Skills
No learning outcomes recorded.
Attitudes
No learning outcomes recorded.
Autonomy and responsibility
No learning outcomes recorded.
Oktatási módszertan
Tanulástámogató anyagok
Not provided.
Recommended preliminary knowledge for completing the subject
General rules
Assessment methods
In-term assessments
No detailed assessments provided.
Weight of in-term assessments
No weights provided.
Exam-period assessments
No detailed assessments provided.
Weight of exam elements
No weights provided.
Grade calculation
No grade thresholds provided.
Attendance requirements
No attendance requirements provided.
Rules for retake and resubmission
Not provided.
Short description
Not provided.
Detailed description
Not provided.
Recommended courses
Workload to complete the subject
No workload breakdown provided.
Validity of subject requirements
Curriculum placement
No curriculum placements recorded for this subject version.