Tantárgy » BMEVIETD223
Műszeres analitika az elektronikai technológiában
Instrumental Analytics in Electronics Technology
A tantárgyleírás hatályossága
Hatályosság kezdete:
2026. March 21.
Hatályosság vége:
—
| Tantárgy neve (magyarul, angolul) |
Műszeres analitika az elektronikai technológiában
Instrumental Analytics in Electronics Technology
|
||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Tantárgykód | BMEVIETD223 | ||||||||||||
| Tantárgyjelleg | — | ||||||||||||
| Képzési szint | — | ||||||||||||
| Kurzustípusok és óraszámok (heti/féléves) |
|
||||||||||||
| Tanulmányi teljesítmény/értékelés típusa | vizsga | ||||||||||||
| Tantárgy kreditértéke | 5 | ||||||||||||
| Tantárgyfelelős |
DR. Gordon Péter Róbert
beosztás: egyetemi docens
elérhetőség:
gordon.peter@vik.bme.hu
|
||||||||||||
| Tantárgyat gondozó oktatási szervezeti egység |
Elektronikai Technológia Tanszék
|
||||||||||||
| Kar | Villamosmérnöki és Informatikai Kar | ||||||||||||
| Tantárgy weboldala | — | ||||||||||||
| Tantárgy elsődleges mintatantervi jellege | — | ||||||||||||
| Közvetlen előkövetelmények – Erős előkövetelmény | nincs | ||||||||||||
| Közvetlen előkövetelmények – Gyenge előkövetelmény | nincs | ||||||||||||
| Közvetlen előkövetelmények – Párhuzamos előkövetelmény | nincs | ||||||||||||
| Közvetlen előkövetelmények – Mérföldkő előkövetelmény | nincs | ||||||||||||
| Közvetlen előkövetelmények – Kizáró feltétel | nincs |
Célkitűzés
Tantárgyprogram
Topográfiai, szerkezeti vizsgálatok:
- SEM (Scanning Electron Microscope, pásztázó elektron mikroszkóp) [1, 3]
- TEM (Transmission Electron Microscope, transzmissziós elektron mikroszkóp) [2, 3]
- AFM (Atomic Force Microscope, atomerő mikroszkóp) [4, 5]
- Kontakt és nem kontakt mérési módok
- AFM-hez kapcsolódó egyéb SPM módszerek (pl. Magnetic Force Microscopy, Electrostatic Force Microscopy, stb.)
- STM (Scanning Tunneling Microscope, pásztázó alagút mikroszkóp) [4, 5]
- CLSM (Confocal Laser Scanning Microscope, konfokális pásztázó lézer mikroszkóp)
- Near-field Scanning Optical Microscopy (NSOM) [4]
- XRF (X-ray Fluorescent Analysis, röntgen fluoreszcens analízis/spektroszkópia) [1, 3]
- Auger elektron spektroszkópia [3]
- UPS (Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy, ultraibolya fotoelektron spektroszkópia) [3]
- XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy, röntgen fotoelektron spektroszkópia) [3]
- elektron mikroszonda (WDXS és EDXS – Wavelength/Energy Dispersive X-ray Spectroscopy, hullámhossz és energia diszperzív röntgen spektroszkópia) [3]
- XRD (X-ray Diffraction, röntgen diffraktometria) [3]
- SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry, szekunder ionemissziós tömegspektroszkópia) [3, 5]
- SNMS (Secondary Neutral Mass Spectrometry, szekunder ionemissziós tömegspektroszkópia) [3, 5]
A tantárgy célja, hogy a hallgatók megismerjék azokat az analitikai módszereket, melyeket az elektronikai technológia terüléten alkalmazott eszközök, alkatrészek és struktúrák topográfiai és anyagösszetétel jellemzőinek meghatározására használhatnak.
A tárgyat teljesítő hallgató képessé válik adott feladathoz a megfelelő analitikai módszer kiválasztására, melyet a módszerrel nyerhető információk és a korlátozó tényezők alapján dönt el.
Tanulmányi eredmények
Ez a tantárgy a KKK rendeletben meghatározott, következő kompetenciák fejlesztését szolgálja:
Tudás
Nincsenek rögzített tanulási eredmények.
Képességek
Nincsenek rögzített tanulási eredmények.
Attitűd
Nincsenek rögzített tanulási eredmények.
Autonómia és felelősség
Nincsenek rögzített tanulási eredmények.
Oktatási módszertan
Heti két alkalommal 2x45 perces előadás
Tanulástámogató anyagok
Online források
[1] Pozsgai Imre: A pásztázó elektronmikroszkópia és az elektronsugaras mikroanalízis alapjai, ELTE Eötvös Kiadó, 1995; [2] Pozsgai Imre: Az analítikai elektronmikroszkópia alapjai, ELTE Eötvös Kiadó, 1996; [3] O. Brümmer, J. Heydenreich, K. H. Krebs, H. G. Schneider: Szilárd testek vizsgálata elektronokkal, ionokkal és röntgensugárzással – Műszaki Könyvkiadó, Budapest, 1984; [4] Paul E. West, Ph.D.: Introduction to Atomic Force Microscopy: Theory, Practice and Applications (pdf-ben); [5] Bertóti Imre, Marosi György, Tóth András: Műszaki felülettudomány és orvosbiológiai alkalmazásai – B+V Kiadó, 2003
A tantárgy teljesítéséhez ajánlott előzetes ismeretek
Tudás típusú kompetenciák
(azon előzetes ismeretek összessége, amelyek megléte nem kötelező, de a tantárgy eredményes teljesítését nagyban elősegíti)
Fizika, Anyagtudomány
Képesség típusú kompetenciák
(azon előzetes képességek és készségek összessége, amelyek megléte nem kötelező, de a tantárgy eredményes teljesítését nagyban elősegíti)
nincs
Ajánlott (nem kötelező) előzetesen megszerzendő kompetenciák
(azon ajánlott (nem kötelező) előzetesen megszerzendő kompetenciák összessége, amelyek jelentősen hozzájárulnak a tantárgy eredményes teljesítéséhez)
Fizika, Anyagtudomány
Általános szabályok
Követelmények:
a. A szorgalmi időszakban:
Egy zárthelyi a 12. héten. Az aláírás feltétele legalább elégséges zárthelyi eredmény.
b. A vizsgaidőszakban:
Szóbeli vizsga
Pótlási lehetőségek:
Sikertelen zárthelyi pótlása a pótlási héten. Pót-pót ZH a pótlási héten.
Teljesítményértékelési módszerek
Szorgalmi időszakban végzett teljesítményértékelések részletes leírása
Nincs megadva részletes értékelés.
Szorgalmi időszakban végzett teljesítményértékelések részaránya
Nincs megadva részarány.
Vizsgaidőszakban végzett teljesítményértékelések részletes leírása
Nincs megadva részletes értékelés.
Vizsgarészek részaránya
Nincs megadva részarány.
Érdemjegy megállapítása
Nincs megadva érdemjegy határ.
Jelenléti és részvételi követelmények
Nincs megadva jelenléti követelmény.
Javítás, ismétlés és pótlás különös szabályai
Nincs megadva.
Rövid leírás
Nincs megadva.
Részletes leírás
Nincs megadva.
Ajánlott tantárgyak
Nincs
A tantárgy elvégzéséhez szükséges tanulmányi munka
Nincs megadva munkaidő bontás.
Tantárgykövetelmények hatályossága
Tantárgykövetelmények hatályosságának kezdete:
—
Tantárgykövetelmények hatályosságának vége:
—
Tantervi elhelyezés
Nincsenek rögzített tantervi elhelyezések ehhez a tárgyverzióhoz.